技术参数

测量行程

平面行程&高度行程

以产品测量要求而定

测量精度

XY轴

(2.0+L/250)µm

Z轴

(2.5+L/100)µm

L为被测物长度，单位为mm

重复精度

≤2μm

移动速度

X/Y轴

≤200mm/s

Z轴

≤100mm/s

测量节拍

常规尺寸点秒级别

仪器尺寸及重量

以实际情况而定

承载重量

25kg